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MSB系列中频溅射电源

yl6809永利官网中频溅射电源凭借优异的波形调制技术,可实现输出直流、直流脉冲、双向方波、双向梯型波等波形。产品具有输出波形可调,输出频率可选,占空比可调,功率控制精准,以及低能量存储和快速的电弧反应。为镀膜工艺提供便利、精准的控制。产品主要应用于各种薄膜制造工艺,太阳能电池片行业,真空镀膜行业;应用工艺:磁控溅射工艺、孪生靶溅射、管式PECVD。
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产品编号
产品系列:
MSB系列
数量
-
+
库存:
0
产品描述
参数
型号定义
主要参数

● 机架式安装方式
● 快速的电弧响应,响应时间<100ns
● 低能量储存,<0.5mJ/kW
● 采用多相交错PFC技术,功率因数高达0.95
● 输出模式多样,可实现连续、断续模式可选择
● 逆变回路采用全软开关技术,采用第三代半导体SiC作功率器件,效率优异

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输入

输入电压:3AC380V、50/60Hz

功率等级:20kW

输出路数:2路

 

输出

最大输出电流:50A*2

最大输出电压:600V*2

技术指标

功率因数:0.95

转换效率:94% 额定状态下±0.5%

调节精度:±0.5%

电弧响应时间:<100ns

尺寸:4U

通讯:标配RS485/RS232(可选配 Profibus、Profinet、DeviceNET、EtherCAT)

注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。

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